第260章 步步惊心(2)(2/2)

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现,天野浩也是耗时很久。他从86年起就一直在尝试,直到89年,才突然碰运气得到。  

在这个步骤上,中村大侠的“二”病再此发作!  

他再次推翻了前面科学家的研究成果,改为加热!  

这也就是所谓退火工艺的由来。  

根据中村自己的解释,他是在非常偶然情况下,得到了这个意外结果。  

在重复电子束照射实验前,他不小心把工作台给加热了!于是,他就发现,在电子束辐照过程中,在样品下面加热可以获得更好的结果。  

对此现象,他又继续研究,进而确认,仅仅依靠加热就可以获得pGaN。而退火工艺的原理,中村大侠并没有给出合理的解释。  

从此,热退火就成为了制作蓝光LED的标准工艺,沿用至今。  

当然了,事情是否真偶然,谁也不知道。  

讲故事谁不会?  

退火工艺的背后原理,在很久以后才被人揭示。  

会被MOCVD  

外延过程中引入的钝化,形成MgH络合物。无论是低能电子辐照还是热退火,都是通过借助外部能量破坏键而激活杂质。  

这两个工艺步骤的实现,足以说明中村的逆天运气!  

前人耗时五六年的成果,他在很短的时间内,全部推翻,而且找到了更好的方式!  

而他发现的这些工艺步骤,即使在三十年后,也无人能改!  

有没有这么一种可能:  

这些工艺,之所以无人能改,因为它们实际就是三十年后的成熟工艺!但被提前拿到了1990年!  

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